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電子顕微鏡

通常、身近で使われているのは光学顕微鏡であり、これはガラスのレンズで可視光線を曲げることで対象物を拡大して観察する。しかし、光学顕微鏡の分解能は可視光線の波長により、理論的に0.2マイクロメートル(1万分の2メートル)程度に制限される。可視光線のかわりに、電子線を使ったものが電子顕微鏡である。電子線は可視光線よりもはるかに波長が短いので、0.数ナノメートル(100億分の数メートル)までの分解能*1を持つことが可能になる。  電子顕微鏡の種類としては、透過型電子顕微鏡(TEM)、走査型電子顕微鏡(SEM ...