アドバンテスト、MEMSリレー市場に参入 サンプル出荷を開始。圧電駆動方式で小型化と高信頼性を実現  株式会社アドバンテスト(本社:東京都千代田区 社長:松野晴夫)はこのたび、半導体検査装置、高速通信機器、高周波計測器・部品などに使用されるMEMSリレーを開発し、2012年4月よりサンプル出荷を開始いたします。 ※製品画像は、添付の関連資料を参照  高周波リレーは現在、電磁駆動や静電駆動によるものが多く普及しています。しかし電磁駆動はサイズや消費電力が大きい、静電駆動は静電気等の環境に影響されやすく、駆動電圧も高いという問題を抱えています。  当社のMEMSリレーは、圧電駆動...