アドバンテスト、４月から半導体検査装置など向けＭＥＭＳリレーのサンプル出荷を開始

アドバンテスト、ＭＥＭＳリレー市場に参入
サンプル出荷を開始。圧電駆動方式で小型化と高信頼性を実現



　株式会社アドバンテスト（本社：東京都千代田区　社長：松野晴夫）はこのたび、半導体検査装置、高速通信機器、高周波計測器・部品などに使用されるＭＥＭＳリレーを開発し、２０１２年４月よりサンプル出荷を開始いたします。


※製品画像は、添付の関連資料を参照


　高周波リレーは現在、電磁駆動や静電駆動によるものが多く普及しています。しかし電磁駆動はサイズや消費電力が大きい、静電駆動は静電気等の環境に影響されやすく、駆動電圧も高いという問題を抱えています。
　当社のＭＥＭＳリレーは、圧電駆動方式を採用しこれらの問題を解決しました。独自の成膜技術により、低駆動電圧に必要な薄さ１μ（１０００分の１ミリメートル）の圧電膜を実現。
　また、半導体試験装置で実績を重ねてきた接点制御技術により、動作の高信頼性も兼ね備えています。電磁駆動方式より小型化や省電力で勝り、静電駆動方式より耐環境性や駆動電圧に優れています。また、当社が長年培ってきた高周波計測技術により、最大２０ＧＨｚの高周波伝送に対応できます。
　なお、量産開始は２０１３年１月を予定しております。

　当社は今後も半導体試験の領域にとどまらず、自動車や医薬・医療などの市場において画期的なソリューションを提案してまいります。


■特長
　１．小型。チップ厚は０．９ｍｍ
　２．２０ＧＨｚまでの高周波伝送に対応
　３．１２Ｖの駆動電圧を実現


■主な仕様（参考値）
　周波数範囲　　　　　　ＤＣ〜２０ＧＨｚ
　駆動電圧　　　　　　　１２Ｖ
　接点構成　　　　　　　ＳＰＤＴ
　サイズ　　　　　　　　　５．４×４．２×０．９ｍｍ、２．９×３．４×０．９ｍｍの２種類
　アイソレーション　　　＞２０ｄＢ（〜２０ＧＨｚ）
　挿入損失　　　　　　　＜１ｄＢ（〜２０ＧＨｚ）
　特性インピーダンス　５０Ω

　主な用途　半導体検査装置、高速通信機器、高周波計測器・部品など

　サンプル価格　８８００円／個


以　上