東京エレクトロン、東北大学とスピントロニクスメモリーの集積化技術などで共同開発に合意

東北大学と東京エレクトロン、次世代デバイスの有力候補であるスピントロニクスメモリの集積化技術とその製造技術で共同開発に合意


　東京エレクトロン株式会社（本社：東京都港区、社長：竹中博司）は、このたび東北大学　遠藤哲郎教授を研究代表者として、東北大学省エネルギー・スピントロニクス集積化システムセンター（所在地：宮城県仙台市、センター長：大野英男教授）と、スピントロニクスメモリの集積化技術とその製造技術に関する共同開発を開始することに合意しました。

　スピントロニクスメモリは、低消費電力で書き込み速度が高速という特長を持つ不揮発性メモリであり、今後の省エネ電子機器のキーデバイスとして注目されています。
　東北大学省エネルギー・スピントロニクス集積化システムセンターでは、スピントロニクスメモリに必要な磁性体材料技術・デバイス技術と半導体デバイス技術の研究に積極的に取り組み、世界最高性能のスピントロニクス素子・スピントロニクス集積回路を開発するなど、本技術分野で世界をリードしています。
　東京エレクトロンは、スピントロニクスメモリ製造に必要な微細加工用ドライエッチング装置や洗浄装置、成膜装置などの各種装置を開発・販売していきます。

　本共同開発は、両者の強みである、東北大学の磁性材料技術やデバイス技術・設計技術と、東京エレクトロンのプロセス・装置技術を融合させるものです。両者は今後、微細・高集積スピントロニクスメモリとその製造プロセス技術の実現に向けて協業し、量産技術の早期確立を目指します。