レーザーテック、高精細液晶用大型フォトマスクパターン欠陥検査装置を発表

新製品　高精細液晶用大型フォトマスクパターン欠陥検査装置
ＣＬＩＯＳ　Ｇ８２１を発表



【概要】
　この度レーザーテックは、スマートフォンやタブレット端末などの高精細液晶ディスプレイ生産用に特化した高精細液晶用大型フォトマスクパターン欠陥検査装置　ＣＬＩＯＳ（クリオス）Ｇ８２１を発表致します。


【内容】
　レーザーテックは、第８世代用大型フォトマスクパターン欠陥検査装置の業界標準機として既に定評のある５１ＭＤを大幅に進化させた高精細液晶用大型フォトマスクパターン欠陥検査装置ＣＬＩＯＳ　Ｇ８２１を製品化し、今月より受注を開始いたします。
　スマートフォンに代表される高精細ディスプレイや新映像フォーマットの４Ｋ２Ｋ高解像度テレビへの対応で、液晶用フォトマスクのパターンは微細化が急速に進展し、ハーフトーンマスクやグレートーンマスクの普及と併せて高度化が一層加速しています。
　生産現場においてもこのような高度化したフォトマスクの欠陥検査を可能とする、より高い検出感度を持った検査装置の登場が強く求められております。
　レーザーテックでは、こうした新たな検査ニーズに対応すべく新開発の光学系、ステージ機構、及び検出回路で、高感度欠陥検査と高スループットを実現した新製品ＣＬＩＯＳ　Ｇ８２１を製品化いたしました。


【特長】
　・短波長光源及び専用設計の対物レンズを含む最新の光学系採用により、画像解像度を大幅に向上し、高い検出感度を実現（最高検出感度０．３５μｍ。当社従来モデル０．７５μｍ）
　・新システムの開発により、データベース検査の分解能と展開処理能力を大幅に向上し、Ｄｉｅ　ｔｏ　Ｄｉｅ検査と同等の性能を発揮
　・独自のアルゴリズムによるデータベースのプロファイルマッチング機能により、最適なデータベース画像を自動生成
　・新型ＴＤＩセンサー、高速化した処理系、及びダブルデータベース検査（オプション）等により、検査時間も短縮
　・レビュー専用顕微鏡を装備し、フルカラーでのレビューを実現
　・装置内でのペリクル貼り付けも可能（オプション）


※製品画像は添付の関連資料を参照


【用途】
　・高精細液晶用大型フォトマスクの出荷前品質検査
　・高精細液晶用大型フォトマスクの受入検査および
　・定期的な品質検査


【主な仕様】
　・検査面：フォトマスクのパターン面
　・マスクサイズ：８００ｍｍ（Ｗ）×５２０ｍｍ（Ｈ）〜１，５００ｍｍ（Ｗ）×１，３００ｍｍ（Ｈ）、６〜１３ｍｍ（ｔ）
　　（マスクアダプタの使用により、８００×５２０以下のサイズにも対応可能）
　・検出感度：０．３５μｍ（対物レンズ：２０倍、速度：Ｓｌｏｗ）
　　（検査モード：Ｄｉｅ　ｔｏ　Ｄｉｅ／Ｄｉｅ　ｔｏ　Ｄａｔａｂａｓｅ時）
　・単位面積当り検査時間：０．７６秒／ｃｍ２（対物レンズ２０倍、速度：Ｆａｓｔ）
　　（検査モード：Ｄｉｅ　ｔｏ　Ｄｉｅ／Ｄｉｅ　ｔｏ　Ｄａｔａｂａｓｅ時）
　・データベース：最小０．１μｍ（描画単位）
　・本体外形寸法：５，０００ｍｍ（Ｗ）×１，８００ｍｍ（Ｄ）×２，６００ｍｍ（Ｈ）
　・重量：約７，０００Ｋｇ


【本体標準価格】
　８億円（オプション類は別途承ります）


【年間販売目標】
　初年度３〜４台