テクトロニクス、ケースレー４２００A−SCS型パラメーター・アナライザーを発表

テクトロニクス、パラメータ・アナライザ新製品を発表、
特性評価の簡易化により操作習得時間を低減
−−新しいユーザ・インタフェース、測定ノウハウ、IV／CVスイッチ・モジュールを装備した
モジュール式、I−V／C−V／パルス測定統合型のケースレー４２００A−SCS型−−


　テクトロニクス（代表取締役　米山　不器）は、本日、カスタマイズ可能でフル統合型のケースレー４２００A−SCS型パラメータ・アナライザを発表します。新しいユーザ、使用頻度の少ないユーザでも特性評価の複雑さから解放され、テスト・セットアップがシンプルになり、わかりやすく正確な測定結果が得られるため、半導体デバイス、材料、プロセスの解析が迅速に行えます。

　実績のあるケースレー４２００−SCS型パラメータ・アナライザを基に開発された４２００A−SCS型は、最新の工業デザイン、新しいグラフィック・ユーザ・インタフェースを採用しており、エキスパート操作ビデオなどの数多くのセルフラーニング・ツールを組込んでいます。これにより、テスト・セットアップに要する時間は最大５０％低減され、非常に簡単でより直感的な操作が可能になります。半導体デバイスの研究、デバイスの不良解析、信頼性試験など、複数のユーザでリソースを共有するアプリケーションでは、特に操作性が重視されます。

　テクトロニクス、ケースレー・プロダクト・ライン、ジェネラル・マネージャのマイク・フラハーティ（Mike　Flaherty）は、次のように述べています。「パラメータ解析は、デバイスを市場に送り出す前の新しい半導体デバイス、材料の特性評価、デバイスの信頼性試験には欠かせません。しかし、研究者にとってはこのようなテストはまれに行うものであり、パラメータ・テスト機器を使いこなすのは難しいものです。４２００A−SCS型は、パラメータ・アナライザを使用したことのないユーザであっても簡単にセットアップし、操作方法を容易に習得できることを目指して開発されました」

＜新製品のスイッチ・モジュール＞
　数多くの測定項目のためにますます複雑になっている半導体研究に対応するため、テクトロニクスは、ケースレー４２００A−CVIV型４チャンネルIV／CVスイッチ・モジュールも同時に発表します。このスイッチ・モジュール新製品と４２００A−SCS型メインフレームと共に使用することで、SMU（I−V）と容量−電圧（C−V）測定をすばやく切り替えることができます。プローブ・ニードルを上げたりケーブルを動かす必要がないため、デバイス端子でC−V測定にすばやく切り替えることが可能になります。

　４２００A−SCS型は新しいワイド・ディスプレイを搭載しているため、広いスクリーンを使用して操作性に優れたテスト、実験が可能になります。このワイド・ディスプレイとまったく新しいグラフィック・ユーザ・インタフェースにより、たまにしか使用しないユーザであっても直感的に操作できます。また使い慣れたユーザもさらに詳細な機能を直感的に使いこなせます。新しいユーザ・インタフェースには、世界中のケースレー・アプリケーション・エンジニアの知識と経験を取込んだエキスパート・ビデオも含まれています。このビデオは操作の習得時間を短縮し、予期しない結果が出たときのトラブルシュートとして、また確実な測定結果を得るために役立ちます。

　４２００A−SCS型は、材料、半導体デバイス、プロセスの電気特性を評価するためのモジュール式、統合型パラメータ・アナライザです。４２００A−SCS型はI−V特性評価のためのSMU（ソース・メジャー・ユニット）、ACインピーダンス測定のためのC−Vモジュール、パルスI−V、波形取込み、トランジェントI−V測定のための超速パルス測定ユニットで構成されており、研究者、エンジニアは材料研究、半導体デバイスの設計、開発、製造で必要になる重要なパラメータを迅速かつ確実に得ることができます。

＜製品価格＞
　４２００A　パラメータ・アナライザ・シリーズ　３６４万円（税別）から

　※製品画像は添付の関連資料を参照

＜テクトロニクスについて＞
　米国オレゴン州ビーバートンに本社を置くテクトロニクスは、お客様の問題を解決し、詳細の理解を深め、新たな発見を可能にする、革新的で正確かつ操作性に優れたテスト／計測モニタリング・ソリューションを提供しています。テクトロニクスは７０年にわたり電子計測の最前線に位置し続けています。ウェブサイトはこちらから。http://jp.tek.com

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