みずほ情報総研、統合型ＭＥＭＳ用設計・解析支援システム「ＭｅｍｓＯＮＥ」Ｖｅｒ．４．０を提供

―　ＲＦスイッチなど接触機構をもつＭＥＭＳデバイスの設計・開発の効率化を実現　―

統合型ＭＥＭＳ用設計・解析支援システム「ＭｅｍｓＯＮＥ」Ｖｅｒ．４．０をリリース


　財団法人マイクロマシンセンター、みずほ情報総研株式会社、日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社、株式会社数理システムにより構成される「ＭｅｍｓＯＮＥコンソーシアム」（＊１）は、２０１１年２月７日よりＭＥＭＳ（＊２）用設計・解析ソフトウェア「ＭｅｍｓＯＮＥ」Ｖｅｒ．４．０の販売を開始します。

　本システムは、ＭＥＭＳの設計・開発における構造、電磁場、熱伝導などの数値解析機能を備え、動作機構を総合的に検証・評価する「機構解析シミュレータ」、エッチングシミュレータ、マルチプロセスエミュレータによるＭＥＭＳ製造プロセスを総合的に検証・評価する「プロセス解析ツール」、そのほか「プロセス逆問題解析ソフト」や「ＭＥＭＳ回路シミュレータ」、「ナノインプリント解析シミュレータ」、「知識データベース」などで構成されています。本システムの活用により、さまざまな分野の技術者やＭＥＭＳ製造プロセスに精通していない技術者がＭＥＭＳを容易に設計し、迅速に試作評価を行うことが可能となります。

　新たに発売する「ＭｅｍｓＯＮＥ」Ｖｅｒ．４．０では、ＲＦスイッチなど接触機構を含む解析、ＭＥＭＳ回路シミュレーションにおいてプルイン現象を含む可動電極の制御解析に対応しました。そのほか、メッシュ分割や圧電解析の境界条件設定などのデータ作成機能の強化、表示文字サイズの拡大など解析結果表示機能の改善、解析条件設定時に有用なＣＡＤモデルの体積および面積算出機能の追加、材料データベースにおけるデータ一括参照・登録などのインターフェース機能強化や圧電定数などのデータ項目の追加といったユーザ支援機能の充実により、ＭＥＭＳデバイスの設計・開発をより効率よく行うことが可能となりました。また稼働環境として、普及の進むＷｉｎｄｏｗｓ（Ｒ）　７にも対応しました。

　「ＭｅｍｓＯＮＥ」は、約８０機関で採用され、出荷ライセンス数は約２３０となっています。今回の「ＭｅｍｓＯＮＥ」Ｖｅｒ．４．０の発売により、Ｖｅｒ．１．０〜Ｖｅｒ．３．０の導入実績と合わせ、今後１年間で約１２０機関、４００ライセンスの普及を目指します。

＊１　「ＭｅｍｓＯＮＥ」の本格的な普及を目的に、財団法人マイクロマシンセンター、みずほ情報総研株式会社、日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社、株式会社数理システムにより２００８年２月１４日に結成、ＭｅｍｓＯＮＥの開発・販売・頒布を行う。

＊２　ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ　Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｓｙｓｔｅｍ：微小電気機械システム）：電気回路（制御部）と微細な機械構造（駆動部）を融合し、ひとつの基板上に集積させた部品。半導体製造技術やレーザー加工技術など各種の微細加工技術を用いて製造され、主にインクジェットプリンタのヘッド部にある微小ノズルや圧力センサー、加速度センサー、流量センサーなどに活用されている。今後、情報通信、医療・バイオ、自動車、ロボット、航空・宇宙、福祉など多様な分野における小型・高精度で省エネルギー性に優れた高性能のキーデバイスとして期待されており、国内製造業における基幹部品の国際競争力強化などの観点から、重要な分野である。


＜ＭｅｍｓＯＮＥ　Ｖｅｒ．４．０の概要＞
製品名：ＭｅｍｓＯＮＥ　Ｖｅｒ．４．０
発売日：２０１１年２月７日　月曜日
販売元：みずほ情報総研株式会社、日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社、株式会社数理システム
　　　　　（大学・公的研究機関向け頒布は、財団法人マイクロマシンセンターが担当）
商品体系：ＭｅｍｓＯＮＥ　Ｓｔａｎｄａｒｄシリーズ（ＭＥＭＳ設計・開発における実用版）
　　　　　　ＭｅｍｓＯＮＥ　Ｌｉｔｅシリーズ（試用版）


＜ＭｅｍｓＯＮＥ　Ｖｅｒ．４．０での主な機能強化内容接触機構を含む解析への対応＞
　・ＭＥＭＳ回路シミュレーションにおけるプルイン解析への対応
　・ＣＡＤモデルの体積、面積の算出機能の追加
　・材料データベースの機能強化とデータの充実
　・Ｗｉｎｄｏｗｓ　７への対応

　ＭｅｍｓＯＮＥの詳細については、こちらをご覧ください。
　http://www.mizuho-ir.co.jp/solution/research/semiconductor/mems/index.html

　「ＭｅｍｓＯＮＥ」の著作権は以下の企業・団体に帰属します。
　・財団法人マイクロマシンセンター：知識データベース、材料・プロセスデータベース
　・みずほ情報総研株式会社：機構解析シミュレータ、プロセス解析ツール、ナノインプリント解析シミュレータ
　・日本ユニシス・エクセリューションズ株式会社：フレームワークソフト
　・株式会社数理システム：プロセス逆問題解析ソフト、ＭＥＭＳ回路シミュレータ

＊ＭＥＭＳＯＮＥ／メムスワンは財団法人マイクロマシンセンターの登録商標です。
＊Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ、Ｗｉｎｄｏｗｓは、米国Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ　Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎの米国およびその他の国における登録商標または商標です。
＊Ｗｉｎｄｏｗｓの正式名称は、Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ　Ｗｉｎｄｏｗｓ　Ｏｐｅｒａｔｉｎｇ　Ｓｙｓｔｅｍです。
＊その他記載の会社名および商品名は、各社の商標または登録商標です。