横河電機、組み込みコントローラe−RT３用「多チャネルRS通信モジュール」を発売

組み込みコントローラe−RT３（TM）用
業界最多チャネル数の「多チャネルRS通信モジュール」発売のお知らせ




　横河電機株式会社（本社：東京都武蔵野市　代表取締役社長：海堀周造）は、半導体製造装置や電子部品・電子機器組立て装置などへの組み込みコントローラe−RT３（TM）（イーアールティースリー）用に、「多チャネルRS通信モジュール」を開発、３月１５日から販売を開始します。
　シリアル通信規格のRS通信（※）に対応した業界最多８チャネルの通信モジュールです。コントローラに多数の調節器やセンサを接続して制御する製造装置の小型化、低コスト化に貢献します。今回は、RS通信対応モジュールの第一弾としてRS−２３２Cモジュールを発売します。

　※RS通信
　　　　RS−２３２C、RS−４２２、RS−４８５の３種がある

　＊製品画像は添付の関連資料を参照

■開発の背景
　製造装置は、ボードタイプのコンピュータやPLC（プログラマブル・コントローラ）によって制御されています。半導体製造装置のうちシリコンウエハに薄膜を形成する装置など反応炉機能を備えた装置は、製品搬送など駆動機能に加え、温度や流量の制御が必要です。そのためコントローラには、ヒーターやポンプなどの多数の調節器が接続されます。また、フィルム製造などロールtoロール技術を利用する製造装置は、シートの厚さ計測のために多数の変位センサが接続されます。ボードタイプのコンピュータは、１ボード当たりチャネル数（調節器への信号出力数、センサからの信号入力数）は多いが、サイズが大きく高価格です。一方PLCは、比較的安価でモジュール１個当たりのサイズは小さいものの、チャネル数が少ないためモジュールが複数必要でした。
　当社は、装置の小型化・低コスト化に貢献する組み込みコントローラe−RT３用の多チャネル通信モジュールを開発しました。

■製品の特長
１．PLC業界で最多８チャネルのRS通信対応モジュール
　長い歴史があり産業分野で普及しているシリアル通信規格のRS通信に対応した８チャネルの「多チャネルRS通信モジュール」です。他社にはない１モジュール当たり８チャネルのラインアップで製造装置の小型化に貢献します。
２．価格が３分の１
　RS通信モジュールの当社従来製品（２チャネルのRS通信モジュール４モジュール）と比べ、価格が３分の１になり大幅にコストを削減します。

■主な市場と用途
　RS−２３２C通信対応の半導体製造装置、フィルム製造装置など各種製造装置の組み込みコントローラ

■販売目標（海外販売を含む）
　・２０１３年度　５００台
　・２０１４年度　１，０００台

■e−RT３について
　e−RT３は、半導体製造装置などの各種装置の制御を行う組み込みコントローラ。プログラミング言語はC言語主体。組み込みコントローラに使用される代表的なリアルタイムOSであるVxWorks(R)、NORTi(R)（ITRON）、Windows　CE(R)、OS−９、Linux(R)に対応。２００４年１１月にe−RT３を発売し、２００７年１０月には、上位機種「e−RT３　２．０」を発売。「e−RT３　２．０」は、小型な筐体に高速プロセッサ（PowerPC　５３３MHz）と豊富な外部インターフェースの搭載によって、装置の小型化、高性能化および高速化を実現した。


以上

■関連ページ
　＞e−RT３
　http://www.yokogawa.co.jp/rtos/rtos-index-ja.htm