ニコン、ストリームラインプラットフォーム採用の「ＡｒＦ液浸スキャナー『ＮＳＲ−Ｓ６２１Ｄ』」を発売

ストリームラインプラットフォーム採用の超高精度・超高スループット最新型液浸露光装置
ニコン　ＡｒＦ液浸スキャナー「ＮＳＲ−Ｓ６２１Ｄ」を発売



　株式会社ニコン（社長：木村　眞琴、東京都千代田区）は、最新型ＡｒＦ液浸スキャナー「ＮＳＲ−Ｓ６２１Ｄ」の販売を２０１２年１月から開始しました。この新型露光機は、既に定評のあるＮＳＲ−Ｓ６２０Ｄの精度や生産性をさらに向上させ、２２ナノメートルプロセス量産用（ダブルパターニング適応（＊１））に開発された装置であり、今後の主力商品として拡販に努めます。

　＊１　ダブルパターニング：１つの回路パターンを、現行の液浸露光機で転写できる２つの密集度の低いパターンに分割露光し、この２つのパターンを組み合わせて、最終的に密集度を高めることを可能とする手法。


●概要
　商品名：ＡｒＦ液浸スキャナー「ＮＳＲ−Ｓ６２１Ｄ」
　販売開始時期：２０１２年１月より


●開発の背景
　ＩＴ革命の根幹を担う超ＬＳＩの高集積化・微細化が進み、半導体業界では２０ナノメートル世代プロセスのデバイス開発・生産に移行しています。リソグラフィ分野においては、引き続き液浸露光装置によるダブルパターニング技術が有力とされており、重ね合わせ精度とスループットの大幅な向上が求められます。
　ＮＳＲ−Ｓ６２１Ｄは、ＮＳＲ−Ｓ６２０Ｄ（＊２）で既に定評のあるストリームライン　プラットォーム（Ｓｔｒｅａｍｌｉｇｎ　Ｐｌａｔｆｏｒｍ）を採用しつつ、ハード及びソフト両面からさらなる改良を加えることにより、重ね合わせ精度２ナノメートル以下、スループット毎時２００枚以上、という極めて高い精度と生産性を実現し、お客様の生産ラインにおいて最適かつ効率的なソリューションを提供します。

　＊２　参考：従来機ＮＳＲ−Ｓ６２０Ｄの重ね合わせ精度は３ナノメートル以下、スループットは毎時１８０枚以上。


＜ストリームラインプラットフォーム（Ｓｔｒｅａｍｌｉｇｎ　Ｐｌａｔｆｏｒｍ）の主な特長＞

１、重ね合わせ精度の大幅な向上を実現する新干渉計システム：バーズアイ・コントロール（Ｂｉｒｄ’ｓ　Ｅｙｅ　Ｃｏｎｔｒｏｌ）
　エンコーダを利用し、空気揺らぎの影響を受けずにステージの位置を計測し、従来の干渉計計測とのハイブリッドなシステムを構成。重ね合わせ精度を大きく向上しました。

２、スループットの大幅な向上を実現する新計測技術：ストリームアライメント（Ｓｔｒｅａｍ　Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）
　ＦＩＡの５眼化（＊３）により、短時間でのアライメント計測を可能にしました。５眼化の効果により、全ショットに近い多点計測時でもスループット低下を最小限に抑えます。

　＊３　ＦＩＡの５眼化：アライメント顕微鏡を従来の１眼タイプから５眼化（５連装タイプ）にしたこと。

３、メンテナンス性向上のための新モジュール構造：モジュラースクエアード・ストラクチャー（Ｍｏｄｕｌａｒ２　Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ）
　階層的なモジュール化を実現する事により、お客様先での立ち上げ時間を短縮し、さらに部品交換も平易化しました。そのため、メンテナンス性が大幅に向上しました。


●「ＮＳＲ−Ｓ６２１Ｄ」の主な性能

　※添付の関連資料を参照


※製品画像は、添付の関連資料を参照


●お客様の問い合わせ先：
　株式会社ニコン　精機カンパニー　企画部経営企画課　０３−３２１６−１３４４

　ニコンホームページ：http://www.nikon.co.jp/