ニコンエンジニアリング、LEDなどの量産に適した縮小投影露光装置の受注を開始

縮小投影露光装置
「ミニステッパー　NES１W−ih０６／i０６，NES２W−ih０６／i０６」を受注開始


　株式会社ニコン（社長：牛田一雄、東京都港区）の子会社、株式会社ニコンエンジニアリング（社長：小貫哲治、神奈川県横浜市）は、LED、MEMS、パワー半導体等の量産に適した縮小投影露光装置「ミニステッパー　NES１W−ih０６／i０６，NES２W−ih０６／i０６」の受注を開始いたします。これらの装置は、これまでご好評をいただいているミニステッパー　NES１、NES２シリーズのコンセプト「小型・簡単・リーズナブル」を継承しつつ、露光波長i−h線に対応した新開発の投影レンズと照明光学系を搭載したものです。「ミニステッパー　NES１W−ih０６，NES２W−ih０６」はi−h線２波長利用によって照度を大幅に向上させ量産性を最大限まで高めたものであり、「ミニステッパーNES１W−i０６，NES２W−i０６」はi線単波長に特化してi線プロセスに適合させています。
　本商品は、１２月３日から５日まで東京ビッグサイト（東京国際展示場）で開催される「SEMICON　Japan２０１４」にパネル展示する予定です。


●発売概要
　商品名：「ミニステッパー　NES１W−ih０６／i０６」
　価格：１億６，８００万円〜（税込１億８，１４４万円〜）（標準仕様）
　受注開始時期：２０１４年１２月
　販売予定数：初年度１０台

　商品名：「ミニステッパー　NES２W−ih０６／i０６」
　価　格：１億９，８００万円〜（税込２億１，３８４万円〜）（標準仕様）
　受注開始時期：２０１４年１２月
　販売予定数：初年度１０台


●開発の背景
　株式会社ニコンエンジニアリングは、２００９年１月にミニステッパーNESシリーズを市場投入して以来、LED、MEMS、パワー半導体の量産に寄与し、ご好評をいただいております。そのような中で、さらなる生産性向上とi線対応のご要望をいただいており、このたび露光波長i−h線に対応した投影レンズと照明光学系を新開発いたしました。


●主な特長
１．i−h線２波長ブロードバンドによる高照度化
　i線からh線までのブロードな波長領域の光を取り込むことにより、照度を大幅に向上させています。これにより、高いドーズ量が必要なプロセスにおいて、生産性を大幅に向上させることができます。

２．i線レジストへの適合
　MEMS等の量産で使用されるレジストには、i線領域に感度ピークを持つものがあり、新開発の投影レンズと照明光学系によって十分な解像性能を得ることができます。

３．NA拡大
　新開発の投影レンズは、ニコンNSRシリーズのステッパーと同等の露光範囲２２mm×２２mmを確保しつつ、従来機種NES２−h０６のNA０．１１に対して０．１３へと拡大しています。
　これにより、LED、MEMS、パワー半導体等の量産に必要な深い焦点深度と高解像度の両立を実現しています。

４．安全認証対応
　SEMIやCEマークなどの海外安全認証に標準対応しています。

５．高精度な裏面アライメント機構（オプション）
　通常の可視光アライメントに加え、赤外線による透過アライメント、およびウエハホルダに内蔵した裏面直視アライメントにより、高精度な裏面アライメントが可能です。

６．多彩なオプション群
　オートレチクルスライダ、デュアルエリアレチクル、照明系σ可変ユニット、TAIKORウエハ対応など、多彩なオプションをご用意しております。
　注：TAIKOは株式会社ディスコの商品名です。

７．世界最小レベルのフットプリント
　１５０mmウエハ対応のNES１Wで約２．２m2、２００mmウエハ対応のNES２Wは３．３m２と、世界最小レベルのフットプリントを継承しています。


　※主な仕様・製品画像は添付の関連資料を参照


■この件に関する問い合わせ先
　●お客様の問い合わせ先：
　株式会社ニコンエンジニアリング　営業部
　２２１−０８３５　神奈川県横浜市神奈川区鶴屋町　３−３０−４（明治安田生命横浜西口ビル）
　０４５−３２０−１３１１

　ニコン・ホームページ　http://www.nikon.co.jp/
　ニコンエンジニアリング・ホームページ　http://www.ave.nikon.co.jp/n-eng/