東京エレクトロン、ＡＬＤ−ＳｉＮ装置「ＴＥＬＩＮＤＹ　ＰＬＵＳ ＳＡ」の受注開始

ＴＥＬＩＮＤＹ　ＰＬＵＳ（ｔｍ）　ＩＲａｄ（ｔｍ）　ＳＡ受注開始のお知らせ


　東京エレクトロン株式会社（東京都港区、社長：竹中　博司）は、２０１０年１２月よりＡＬＤ−ＳｉＮ装置　ＴＥＬＩＮＤＹ　ＰＬＵＳ（ｔｍ）　ＩＲａｄ（ｔｍ）ＳＡの受注を開始いたします。

　ＴＥＬＩＮＤＹ　ＰＬＵＳ　ＩＲａｄ　ＳＡは、２００６年の出荷開始以来、約２００台の販売実績があるＴＥＬＩＮＤＹ／ＴＥＬＩＮＤＹ　ＰＬＵＳ　ＩＲａｄをベースに、さらなる生産性および成膜性能の向上を実現しました。

　一度に処理できる枚数を１００枚から１２５枚へ向上、また、リアクター、プラズマソースの改善・改良および急速昇降温ヒーターの採用などにより、生産性が従来比最大で５０％増加しました。（膜厚・プロセス条件による）

　上記の改善・改良によってパーティクルの発生をさらに低減させ、ＰＭサイクル※を従来比より最大３．０倍まで延長することが可能となりました。また、石英リアクターの構成を見直すことによってメンテナンス性の向上を図るなど、総合的な高生産性を実現しました。さらには、石英ボート上のウェーハピッチを最大限に確保することでプロセスマージンを大きくするなど、生産性だけでなく将来的なプロセスニーズにも応えられる製品を開発しました。

　「この度、東京エレクトロンはお客様のＡＬＤプロセスに対する将来的な技術ニーズにお応えするべくＴＥＬＩＮＤＹ　ＰＬＵＳ　ＩＲａｄ　ＳＡをリリースしました。我々は、ＡＬＤプロセスに留まらず、今後ますますの技術革新が見込まれる熱処理分野において、さらなる躍進を遂げるべく技術的優位性を持った製品を今後とも提供してまいります。」（東京エレクトロン　執行役員　兼　ＴＰＳ＆ＳＤＢＵ　ジェネラルマネージャー　河合利樹）

　東京エレクトロンは、これからも技術イノベーションを追求するお客様とともに、次世代成膜技術に対して最良のソリューションを提供してまいります。

　※ＰＭサイクル：Ｐｒｅｖｅｎｔｉｖｅ　Ｍａｉｎｔｅｎａｎｃｅ　サイクル