島津製作所、一般産業機器向けなどにターボ分子ポンプ「TMP−B３００形」を発売

島津製作所、小型ターボ分子ポンプ市場に本格参入
―装置設計の自由度を高める新シリーズ「TMP−B３００形」を発売―

　※製品写真は添付の関連資料を参照

　島津製作所は、一般産業機器・研究用途・分析機器向けにコンパクトで取り回しに優れたターボ分子ポンプの新シリーズ「TMP−B３００形」を１０月より発売し、小型ターボ分子ポンプ市場に本格的に参入します。

　ターボ分子ポンプは、タービンを高速回転させ分子レベルで排気を行う真空ポンプで、真空状態でのプロセスが要求される産業機器や分析機器などのキーコンポーネントの一つです。
　当社は、耐腐食性や耐高温などが求められる半導体・液晶・太陽電池の製造装置向けや、高い真空性能が求められる薄膜コーティング等のプロセス装置向けなど、高い信頼性が求められる分野において強みを有している世界トップクラスのTMPメーカです。

　光学機器や管球排気装置・小型真空排気装置などの汎用的な産業機器や研究用途及び分析機器をメインターゲットとする小型ターボ分子ポンプの市場規模は約１５０億円（２０１３年度）（＊）であり、今後も緩やかに成長を続けることが予想されています。
　そこで当社は、これまで培ってきた技術や経験を活かして開発した「TMP−B３００形」を契機として小型ターボ分子ポンプ市場に本格的に参入し、グローバル戦略商品であるターボ分子ポンプ事業の拡大を図ることにしました。

　今後小型ターボ分子ポンプのラインナップを充実させるとともに、オーバーホールをはじめとするサービスサポートの体制を整え、日本・米国・欧州・台湾・韓国・中国・東南アジアを中心に拡販を図ります。

　＊当社調べ


【TMP−B３００形の特長】
　１．コンパクトなターボ分子ポンプを実現
　　ターボ分子ポンプの高さは当社従来機から２０％縮小した１９５mmであり、また本体スイッチで起動・停止・リセット操作ができるポンプ・コントローラー一体型であるため、コンパクトです。
　　また当社が強みを有する磁気軸受方式のターボ分子ポンプにて培った多重ドラックポンプ段の採用により、磁気軸受とセラミック玉軸受組合せ方式としては業界最高レベルの１０００Paの高背圧と１×１０の５乗の高い水素圧縮比を実現しているため、小型で安価な補助ポンプの選択が可能であり、省スペースな真空排気系を実現します。

　２．装置設計の自由度に貢献
　　組合せ軸受方式を採用したことにより、垂直・水平・倒立のいずれの方向でも取り付けることが可能になりました。取り回しがしやすく、ターボ分子ポンプを組み込む機器・装置の設計の自由度が高まります。

　３．省エネルギー化を達成
　　新たに開発したパワーユニットや高効率モータの採用により、消費電力を１８０Wにまで低減した、環境負荷の低いシリーズです。（当社従来機比６２％減）

　４．実績に基づく高い信頼性
　　ロータ破壊試験、大気突入試験、高速タッチダウン試験、電源信頼性試験などの多岐に渡る評価試験の実施により、信頼性の高いものづくりを実現しています。
　　長年にわたる磁気軸受方式のターボ分子ポンプでの生産実績に基づいて得られた検証ノウハウが新シリーズにも注がれています。

　５．グローバルなサービス体制の充実
　　グローバルなサービスサポート体制により、セラミック玉軸受交換などの定期的なメンテナンスをはじめ、幅広いカスタマーサポートを提供します。


【製品仕様】
　名称：ターボ分子ポンプ「TMP−B３００形」
　価格：１，２００，０００円（税別）
　サイズ：φ１００　×　H１９５mm　１１kg
　販売計画：５００台（発売より１年間）