ヨコオ、１００〜３００μmピッチ対応ウエハ高周波検査用プローブカードを開発

高周波デバイス・ウエハ検査市場向けプローブカード
新製品「YPXシリーズ」を開発


■要旨
　（株）ヨコオではこのほど、高周波デバイスのウエハ検査市場をターゲットとするプローブカードの新製品を開発しました。
　今回開発した製品は、「１００〜３００μmピッチ対応ウエハ高周波検査用プローブカード」（以下、「YPXシリーズ」）で、今秋より市場に投入していく計画です。


■市場動向と当社の取り組み
　スマートフォン、タブレット型端末機器等の急速な普及にともない、通信用デバイスの需要も増加しています。さらに、通信方式のマルチ化も相俟って、通信の送受信部分に使用される、高周波アンプ、高周波スイッチ、高周波フィルタなどの高周波デバイスは、需要増にとどまらず、年々高性能化しています。
　これら高周波デバイスでは、パッケージ化される前段階での性能検査が必要であり、それに使用する前工程検査用プローブカードの性能向上に対するニーズが一層高まってきています。

　当社では、既にウエハ検査用プローブカードとして、高性能・高品質なスプリングピンを用い、当社の極小径プローブ製作技術と微細精密加工技術を駆使して開発したSoC検査向けの「YVPシリーズ（１２０μmピッチ以上に対応）」と、当社が培った高周波技術を活用した高周波デバイス検査向けの「YVHシリーズ（１６０μmピッチ以上に対応）」を市場投入しています。
　今回は、さらに低インダクタンス化の実現に向けてプローブカードの開発に取り組み、このほど１００〜３００μmピッチ対応の「YPXシリーズ」を製品化しました。


■新製品「YPXシリーズ」の概要
　新開発した「YPXシリーズ」は、当社がこれまで得意としてきた微細精密加工技術に加え、MEMS技術を利用したコンタクタを採用しています。
　「YPXシリーズ」では、MEMS技術を用いてポリイミドシート上にバンプを形成することで、コンタクト長をより短尺化しており、これによって信号およびGNDの低インダクタンス化を実現し、デバイスを実使用時の実装状態に近い状態で検査することを可能としています。


　製品化した「YPXシリーズ」の製品概要は、下記の通りです。

　■特長
　　・優れた高周波特性
　　・低インダクタンス
　　・低コスト

　■仕様
　　・最小ピッチ：１００μm
　　・コンタクト長：１００μm以下
　　・ストローク：１００μm
　　・周波数特性：挿入損失：６GHz＠−１dB
　　・インダクタンス：０．１nH以下


■今後の計画
　当社製のプローブカードは、事前各種シミュレーションを含む設計から部品製造・組み立て・検査まで一貫して内製化を図っているため、高い品質での製品提供が可能であり、新開発の「YPXシリーズ」についても、既に大手半導体メーカー・海外ファンドリーから高い評価をいただいており、今後本格採用が期待されています。
　当社では、「高周波デバイス市場」「ハイエンド・ロジック市場」を中心に拡販を推進し、前工程プローブカードの事業拡大を目指します。