アジレント、高速パルス測定など機能拡張したパラメータ・アナライザーを発表

アジレント・テクノロジー、パラメータ・アナライザを機能拡張
高速パルス測定をはじめとする各種機能を低価格で提供


　アジレント・テクノロジー株式会社（社長：梅島正明、本社：東京都八王子市高倉町９番１号）は、「Agilent　B１５００A半導体デバイス・アナライザ」用のソース／モニタ・ユニット（SMU）およびソフトウェアを機能拡張したことを発表します。

　今回新たに発表した５０マイクロ秒パルス中電流SMU「Agilent　B１５１４A」は、３０V（ボルト）／１A（アンペア）で高速なパルスを発生できるほか、波形モニタ機能も搭載しています。あわせて発表する新しい中電力SMU「Agilent　B１５１１B」は、オプションのアトセンス・スイッチ・ユニットにより、０．１fA（フェムトアンペア）の微小電流測定を低価格で実現しています。従来と比べて、１チャネルあたり約２４万円程度、低価格となります。最新版ソフトウェア「EasyEXPERT　５．５」では、３００を超えるすぐに利用可能な測定アプリケーション・テストが、手動での操作のほか、複雑なプログラムなしにリモート実行ができるようになっています。

　当社では、１９８０年代初頭に世界初のデジタル式パラメータ・アナライザを市場に投入して以来、パラメトリック・テストにおける性能や価値を継続的に改善してきました。その伝統を維持し、最新のB１５００Aでは、IV（電流／電圧）測定（０．１fA−１A／０．５μV（マイクロボルト）−２００V（ボルト））から、静電容量測定（１kHz（キロヘルツ）−５MHz（メガヘルツ））、ナノ秒レベルまでの超高速パルス／トランジェントIV測定まで、あらゆる特性評価に対応しています。

　今回のB１５００A　半導体デバイス・アナライザの機能拡張

＊より高速なパルス測定を実現：
　B１５１４A　５０マイクロ秒パルス中電流SMUにより、より高速なパルス測定に対応。従来からある同種のSMUに比べ１０倍以上高速となる、５０マイクロ秒の高速パルス測定が可能となっています。また、３０V／１Aまでの電圧／電流レンジで、電流／電圧をプログラム制御することが可能です。今日の最先端材料やデバイスの特性評価では、パルスIV測定を行うことが一般的となってきており、こうした要求に応えるため、EasyEXPERTのオシロスコープ・ビューを利用することで、B１５１４Aでは実際の電圧／電流波形をモニタすることが可能となっています。この機能により、パルス測定の設定を確認しながら、迅速かつ簡単にパルス測定時のタイミングなどの測定パラメータの最適化を行うことができます。


＊０．１fAまでの微小電流測定を低コストで実現：
　新しいB１５１１B中電流SMUでは、アトセンス・スイッチ・ユニットを利用することで、これまでより低コストで０．１fAまでの微小電流測定に対応しています。１チャネルあたり約２４万円低価格となります。リーク電流測定など、次世代デバイスの研究開発を加速するための高精度な微小電流特性評価ニーズに対応します。


＊EasyEXPERT　５．５による容易なデバイス特性評価：
　今回のアップデートには、内蔵アプリケーション・テストのリモート実行機能のほか、GUIベースのスイッチング・マトリックス制御機能、アプリケーション・ライブラリの拡充などが含まれています。さらに、B１５１４A　５０マイクロ秒パルス中電流SMU用の、オシロスコープ・ビューにも対応しています。EasyEXPERTはWindows　７上で動作するGUIベースのソフトウェアで、効率的で再測定も容易なデバイス特性評価を、手動での測定だけでなく、半自動ウェハ試験環境でも可能にします。


　新たに発表したB１５１４AおよびB１５１１Bの各SMUや、最新版のEasyEXPERTにより、Agilent　B１５００A　半導体デバイス・アナライザは、汎用性、測定に対する高い信頼性、効率的で再測定も容易な測定環境を有するデバイス評価ソリューションとなっています。最先端のパラメトリック・テストに必要な各種測定機能に対応しており、デバイス、材料、半導体、能動部品／受動部品をはじめ、あらゆる電子デバイスの特性評価に最適です。


＜関連情報＞
　B１５００A　半導体デバイス・アナライザ
　http://www.agilent.co.jp/find/b1500a


　・製品写真は添付の関連資料を参照


＜アジレント・テクノロジーについて＞
　アジレント・テクノロジー（NYSE：A）は、化学分析、ライフサイエンス、診断、エレクトロニクス、コミュニケーション市場における世界のプレミア・メジャメント・カンパニーであり、またテクノロジー・リーダーでもあります。２０，５００名の従業員を擁し、１００カ国以上でビジネスを展開しています。アジレントは、２０１２年１０月期、６９億ドルの売上高を達成しました。アジレント・テクノロジーの情報は、以下のウェブサイトでご覧ください。
　http://www.agilent.co.jp


※このプレスリリース中の「アジレント・テクノロジー」、「アジレント」、「当社」は、文脈により、「アジレント・テクノロジーズ・インク」、その日本法人や各国の法人、グループ全体を指すことがあります。


■お客様からのお問い合わせ先：
　計測お客様窓口電話：０１２０−４２１−３４５