ニコン、中小型の高精細液晶パネル製造などに最適な液晶露光装置を発売

２マイクロメートルの高解像度を達成した露光装置
ニコン液晶露光装置「ＦＸ−６７Ｓ」を発売



　株式会社ニコン（社長：木村眞琴、東京都千代田区）は、液晶露光装置の新製品「ＦＸ−６７Ｓ」の販売を開始いたします。
　「ＦＸ−６７Ｓ」は、スマートフォンに代表される高機能モバイル機器の普及に伴って需要が拡大している中小型の高精細液晶パネル及び有機ＥＬパネル製造に最適な露光装置です。


（１）発売概要
　商品名：液晶露光装置「ＦＸ−６７Ｓ」
　販売開始：２０１２年１０月より
　初年度販売目標：約２０台

（２）新製品概要
　スマートフォンに代表される高機能モバイル機器の普及に伴い、高精細液晶パネル及び有機ＥＬパネルの更なる生産効率の向上が求められています。
　「ＦＸ−６７Ｓ」は、大型プレート基板による高精細中小型パネルの生産に対応した露光装置です。スキャナー方式により、生産性向上と高解像度・高精度アライメントを同時に実現させました。
　既に発売を開始しております「ＦＸ−６６Ｓ」とこの「ＦＸ−６７Ｓ」を組み合わせて使用することにより、最適な生産ラインが構成できます。

（３）ＦＸ−６７Ｓの主な特長と仕様
●高解像度
　複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムの高解像度化のために、新たな調整機構を採用し、さらに独自の超解像技術を採用した照明系を新規開発しました。また計測ポイントを最適化した新オートフォーカスシステムも搭載し、２マイクロメートル（＊Ｌ／Ｓ）の高解像度を達成しながら広い実用焦点深度も同時に確保しています。
　＊Ｌ／Ｓ：Ｌｉｎｅ　ａｎｄ　Ｓｐａｃｅの略

●高精度アライメント
　新たに測長干渉計軸を増やし、位置計測システムを新設計したことにより計測安定性が向上し、±０．５マイクロメートルの高精度アライメントを実現しました。

●高スループット
　１，３００ｍｍ×１，５００ｍｍプレートサイズの場合：毎時２０，０００枚（４インチパネル）、毎時６，９００枚（７インチパネル）

●「ＦＸ−６７Ｓ」の主な仕様

　※添付の関連資料を参照


■この件に関するお問い合わせ先
●お客様の問い合わせ先：
　精機カンパニー　企画本部　事業企画部　０３−３２１６−１３４４
　ニコンホームページ：http://www.nikon.co.jp/