ＳＴマイクロ、携帯型機器向けに最新のＭＥＭＳ気圧センサーを発表

ＳＴマイクロエレクトロニクス、
新しい高性能気圧センサを発表

革新的なＭＥＭＳ技術により、
極めて正確な気圧測定を可能にする新しい小型シリコン圧力センサ


　世界トップクラスのコンスーマおよび携帯型機器向けＭＥＭＳセンサのサプライヤであるＳＴマイクロエレクトロニクス（ＮＹＳＥ：ＳＴＭ、以下ＳＴ）は、最新のＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ−Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｓｙｓｔｅｍｓ）気圧センサを発表しました。
　このセンサを搭載する事により、近い将来、スマートフォン等の携帯型機器は、地下７５０ｍやエベレストの頂上でも、１ｍ以内の精度でその地点の高度を特定できるようになります。（１）

　新しいＬＰＳ００１ＷＰは、革新的な技術を使用したシリコン製の小型気圧センサで、気圧測定（および高度測定）における分解能が極めて高く、気象観測所や自動車および産業用アプリケーションの他、スマートフォン、スポーツ・ウォッチ、その他の携帯型機器に最適な非常に小型で薄型のパッケージに実装されます。

　ＳＴのＭＥＭＳ・センサ・高性能アナログ製品事業部　ジェネラル・マネージャであるＢｅｎｅｄｅｔｔｏ　Ｖｉｇｎａは、次の様にコメントしています。「ＭＥＭＳ技術により、直線的な動作や角速度、圧力、あるいは磁界といった様々な物理パラメータを測定できる新しいセンサを次々に開発し、コストを低減すると同時に精度を向上させることができます。こうしたセンサを消費者ニーズにどのように適合させるかは、私たちの想像力次第です。」

　最初に想定される応用分野の１つは、携帯型機器において位置情報を２次元でのみ特定する従来のＧＰＳ機能を拡張することです。ＬＰＳ００１ＷＰを搭載することにより、３次元で位置を正確に特定できるようになります。例えば、携帯電話から消防、救急、あるいは警察への緊急連絡を行う際、建物の位置だけでなく、どの階にいるのかもわかります。

　ＬＰＳ００１ＷＰが機能する気圧範囲は３００〜１，１００ミリバールで、これは標高−７５０〜９，０００ｍにおける気圧に対応しています。また、圧力の分解能は０．０６５ミリバールで、これは８０ｃｍの高度差に相当します。同製品は、ＳＴ独自の「ＶＥＮＳＥＮＳ」と呼ばれる、圧力センサをモノリシック・シリコン・チップ上に形成する技術によって製造されます。この製造技術では、一般的な気圧センサの製造に必要となるガラスとシリコンといったウェハ間の接合が不要なため、信頼性を最大限に高めることが可能です。

　ＬＰＳ００１ＷＰは、高さ方向と気圧の両パラメータが厳密に制御された空洞部分をシリコンに製造し、その上に形成されるシリコンの薄膜部分によって圧力を検知しています。この膜は、従来のシリコン・マイクロマシニングによる膜に比べると面積が非常に小さくできるという利点があり、また、その構造上組み込まれている機械式ストッパによって破壊から保護されています。膜には、外部の圧力変化による膜の曲がりに応じて電気抵抗が変化する小さな構造体であるピエゾ抵抗素子が含まれています。その抵抗値の変化は検出後温度補正され、機器のホスト・プロセッサから業界標準のＩ２ＣまたはＳＰＩ通信プロトコルを通して読込めるデジタル値に変換されます。


【　ＬＰＳ００１ＷＰの技術的特徴　】

・０．０６５ミリバールの高分解能：８０ｃｍの高度差を検知
・ＳＴ独自の技術「ＶＥＮＳＥＮＳ」：高い耐衝撃性（フル・スケールの最大２０倍）
・内蔵温度センサによる温度範囲補正
・圧力値・温度値の出荷前較正により、顧客による較正不要
・プラスチック製の小型ランド・グリッド・アレイ（ＨＣＬＧＡ−８Ｌ）パッケージ：
　パッケージ上のホールより、外部圧力をセンシング素子へ伝達

　ＬＰＳ００１ＷＰは、拡大を続けるＳＴのＭＥＭＳセンサ製品群に追加された最新製品で、ウェハ製造からパッケージング・テストまでのＳＴの完全な製造チェーンのメリットを活かせる大量製造・低価格アプリケーションを対象としています。
　２０１０年１２月に出荷開始される予定で、大量購入時の単価は約２．８ドルです。

（１）ｉＳｕｐｐｌｙ　Ｈ２　２０１０


※商品画像、英文リリースは添付の関連資料を参照


◆ＳＴマイクロエレクトロニクスについて
　ＳＴマイクロエレクトロニクスは、多種多様な電子機器向けに革新的な半導体ソリューションを提供する世界的な総合半導体メーカーです。
　ＳＴは、高度な技術力と設計ノウハウ、そして幅広いＩＰ（Ｉｎｔｅｌｌｅｃｔｕａｌ　Ｐｒｏｐｅｒｔｙ）ポートフォリオ、戦略的パートナーシップ、大規模な製造力を駆使することにより、マルチメディア・コンバージェンスとパワー・アプリケーションにおいて他社の追随を許さないリーダーとなることを目指しています。２００９年の売上は８５．１億ドルでした。さらに詳しい情報はＳＴのホームページをご覧ください。
　ＳＴ日本法人：http://www.st-japan.co.jp
　ＳＴグループ（英語）：http://www.st.com


◆お客様お問い合わせ先
　〒１０８−６０１７　東京都港区港南２−１５−１
　品川インターシティＡ棟
　ＳＴマイクロエレクトロニクス（株）
　ＡＰＭグループ
　ＴＥＬ：０３−５７８３−８２５０　ＦＡＸ：０３−５７８３−８２１６