タイミングデバイスの小型化・低消費電力化に貢献 業界最高※Ｑ値、低電圧駆動ＭＥＭＳ共振器を開発 ※２０１０年１２月７日現在、当社調べ 【要　旨】 　パナソニック株式会社はｉｍｅｃ（ベルギー）［１］との共同開発により、振動部からのエネルギー損失が少ないねじり振動モード［２］で振動する単結晶シリコン（Ｓｉ）の三角柱形状の振動部と、これをシリコンゲルマニウム（ＳｉＧｅ）薄膜で真空封止するウエハレベルパッケージ技術を開発することにより、業界最高Ｑ値［３］、低電圧駆動を可能とするＭＥＭＳ［４］共振器を実現しました。 【効　果】 　本技術は、家電機器や車載機器など様々な機器で使用されるタイミ...