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圧電効果
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三菱マテリアルなど、MEMSデバイス向けPZT圧電膜の量産技術を共同開発
三菱マテリアルとSCREENセミコンダクターソリューションズ MEMS業界初のPZT圧電膜量産技術を共同で開発 〜従来比2倍以上の生産性を実現〜 三菱マテリアル株式会社(取締役社長:矢尾 宏)の電子材料事業カンパニー(以下、三菱マテリアル)と、株式会社SCREENホールディングスのグループ会社である株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ(代表取締役社長:須原 忠浩、以下、SCREENセミコンダクターソリューションズ)は、微小電気機械システム(MEMS(※1))デバイスに使われるPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)圧電膜(※2)について、このたびMEMS業界初となる量産技術を共同で開発しましたので、お知らせいたします。 1....
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日立金属など、鉛フリー圧電薄膜を用いた3軸角速度センサーを開発
鉛フリー圧電薄膜を用いた3軸角速度センサーの開発に成功 日立金属株式会社(本社:東京都港区、会長:小西 和幸、以下 日立金属)と株式会社ワコー(本社:埼玉県上尾市、社長:岡田 和廣、以下 ワコー)は、このたび、鉛フリー圧電薄膜を用いた3軸角速度センサーの開発に成功いたしました。地球環境保全に向け、デジタルカメラの手振れ検知や自動車の姿勢検知などに用いられる角速度センサーの鉛フリー化の進展が期待されます。 1.背景 圧電薄膜は、加えられた圧力を電圧に、また加えられた電圧を圧力に変換する圧電効果を持つ圧電体を薄く形成したもので、一般的にチタン酸ジルコン酸鉛(※1)(以下、PZT)...
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太陽誘電:フレーム付き積層セラミックコンデンサを商品化 −タブレット端末やノートPCの音鳴き現象の大幅な低減を実現− 太陽誘電株式会社(代表取締役社長:綿貫 英治、本社:東京都台東区)は、積層セラミックコンデンサの音鳴き現象(注1)対策として外部電極に金属フレームを取り付けた、フレーム付き積層セラミックコンデンサ「GMV316 BJ106KL」(3.5x1.75x2.7mm)、「TMV212BBJ106KG」(2.4x1.4x1.9mm)を商品化します。 これらの商品は、タブレット端末やノートPC、液晶パネルなどの電源回路や液晶駆動用回路の平滑(注2)用途に使用されます。 積層セラミックコンデンサに金属フレ...