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兵庫県立大学
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東北大、新考案のミラー光学系でEUVリソグラフィ用マスクの高分解能観察に成功
新考案のミラー光学系でEUVリソグラフィ用 マスクの高分解能観察に成功 −新しい顕微鏡開発で16nm世代リソグラフィの実現に貢献− <概要> 東北大学多元物質科学研究所・豊田光紀助教らの研究グループは、独自に開発した多層膜ミラー光学系による顕微鏡により、16nm世代用のEUVリソグラフィ用マスクを高い空間分解能で観測することに成功しました。波長13.5nmの短波長の極端紫外線(EUV:Extreme Ultraviolet)を用いて、半導体ウエハ上に微細回路パターンを焼き付けるEUVリソグラフィでは、回路パターンの原盤に、Mo/Si多層膜ミラーを用いた反射型マスクが用いられます。反射型マスクの開発では、マスク上に存在する微細欠陥...
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JSTなど、1万分の1度ほどのX線の屈折を利用した革新的なX線撮影装置を開発
1万分の1度ほどのX線の屈折を利用した革新的X線撮影装置を開発 −乳がんやリウマチの早期診断を可能に− JST 産学イノベーション加速事業【先端計測分析技術・機器開発】の一環として、東京大学 大学院新領域創成科学研究科の百生(モモセ) 敦 准教授と、コニカミノルタエムジー株式会社(本社:東京都日野市、社長:児玉 篤)、兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所の服部 正 教授らの開発チームは、病院などで使用されている通常のX線源を用い、撮影対象を通過したX線の位相(注1)の違いから画像の濃淡(コントラスト)を生成する革新的なX線撮影装置を開発しました。 従来から病院などで一般的...