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パーフルオロカーボン
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産総研、生体への影響が懸念されるフッ素系ガスにのみ応答する検知技術を開発
生体への影響が懸念されるフッ素系ガスにのみ応答する検知技術を開発 −バタフライ型の有機窒素化合物が、二重結合を持つガス成分を敏感に検知する− <ポイント> ・エッチング用のフッ素系ガス成分にのみ応答する高感度なガス漏洩検知器を開発 ・単結合のみからなるパーフルオロカーボンなど冷媒用のフッ素系液体の蒸気には応答しない検知剤を搭載 ・生体への影響が懸念される他のハロゲン系ガスの漏洩検知への展開も期待 <概要> 国立研究開発法人 産業技術総合研究所【理事長 中鉢 良治】(以下「産総研」という)ナノ材料研究部門【研究部門長 佐々木 毅】ナノ粒子機能設計グループ 中村 徹 主任研究員...
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高効率・大型乾式の温暖化ガス分解装置「HB−3000」を製品化 昭和電工株式会社(社長:市川 秀夫)は、水処理工程が不要な乾式のハイブリッドシステムにより、処理能力の増加とランニングコストの削減を実現するPFC分解装置「HB−3000」の開発を完了し、2012年中に販売を開始いたします。 液晶パネルや半導体のエッチング工程で使用されるPFC(パーフルオロカーボン)は、地球温暖化係数の高い温室効果ガスであり、使用後排出の際に分解処理する必要があります。分解方法には化学反応方式と触媒方式がありますが、ハイブリッドシステムを採用した本製品は両方式の利点を融合したものです。 化...