高スループット成膜を可能とするPZT圧電膜用ゾルゲル材料を開発 　三菱マテリアル株式会社（取締役社長：矢尾　宏、資本金：１，１９４億円）は、今般、圧電（＊１）　MEMS（メムス：Micro　Electro　Mechanical　Systems）（＊２）デバイス向けに、従来よりも約４倍の高スループット（＊３）成膜を可能にするPZT圧電膜用ゾルゲル材料を開発いたしましたのでお知らせいたします。 　チタン酸ジルコン酸鉛（PZT）膜を搭載した圧電MEMSデバイスは、インクジェットヘッドをはじめRFスイッチなどのアクチュエーター用途やジャイロセンサーや振動センサーなどのセンサー用途において実用化が始まっており、将来のエナジーハーベスター（＊４）と...