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ハーベスタ
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日立金属など、鉛フリー圧電薄膜を用いた3軸角速度センサーを開発
鉛フリー圧電薄膜を用いた3軸角速度センサーの開発に成功 日立金属株式会社(本社:東京都港区、会長:小西 和幸、以下 日立金属)と株式会社ワコー(本社:埼玉県上尾市、社長:岡田 和廣、以下 ワコー)は、このたび、鉛フリー圧電薄膜を用いた3軸角速度センサーの開発に成功いたしました。地球環境保全に向け、デジタルカメラの手振れ検知や自動車の姿勢検知などに用いられる角速度センサーの鉛フリー化の進展が期待されます。 1.背景 圧電薄膜は、加えられた圧力を電圧に、また加えられた電圧を圧力に変換する圧電効果を持つ圧電体を薄く形成したもので、一般的にチタン酸ジルコン酸鉛(※1)(以下、PZT)...
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三菱マテリアル、高スループット成膜を可能とするPZT圧電膜用ゾルゲル材料を開発
高スループット成膜を可能とするPZT圧電膜用ゾルゲル材料を開発 三菱マテリアル株式会社(取締役社長:矢尾 宏、資本金:1,194億円)は、今般、圧電(*1) MEMS(メムス:Micro Electro Mechanical Systems)(*2)デバイス向けに、従来よりも約4倍の高スループット(*3)成膜を可能にするPZT圧電膜用ゾルゲル材料を開発いたしましたのでお知らせいたします。 チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)膜を搭載した圧電MEMSデバイスは、インクジェットヘッドをはじめRFスイッチなどのアクチュエーター用途やジャイロセンサーや振動センサーなどのセンサー用途において実用化が始まっており、将来のエナジーハーベスター(*4)と...