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シリコン貫通電極
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レーザーテック、WASAVIシリーズ「ウェハ バンプ検査測定装置BIM３００」を受注開始
WASAVIシリーズ「ウェハ バンプ検査測定装置BIM３００」を発表 “WASAVI”はWafer Surface Analyzing and Visualizing systemの略称です。 【概要】 この度、レーザーテックは、ウェハのバンプ形状やウェハ外周部の検査・測定装置WASAVIシリーズBIM３００を製品化し、今月より受注を開始いたします。 【内容】 半導体デバイスのさらなる高性能化に向けて、微細化と並行してシリコン貫通電極（TSV：Through Silicon Via）などを用いた３次元積層デバイスの開発、量産化に向けての取組みが進んでいます。 これら積層工程において、ウェハ薄化後のTSV露出量およびウェハ表面に形成したバンプの高さ・幅・形状の高い均一性が、重ね合わせた接点同...
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産総研、カーボンナノチューブを利用した新たな配線作製技術を開発
カーボンナノチューブのインプラントによる新たな配線作製技術 −LSI配線やシリコン貫通電極への応用に期待− ＜ポイント＞ ・高温合成による高品質なカーボンナノチューブを用いて配線を作製 ・新規カーボンナノチューブ配線の抵抗は、従来のカーボンナノチューブ配線より１桁以上改善 ・最先端研究開発支援プログラム（FIRST）のプロジェクト「グリーン・ナノエレクトロニクスのコア技術開発」（中心研究者：横山 直樹）の成果 ＜概要＞ 独立行政法人 産業技術総合研究所【理事長 中鉢 良治】（以下「産総研」という）ナノエレクトロニクス研究部門（ http://unit.aist.go.jp/neri/ ）【研究部門長 金丸 正剛】連携研究体...