ウシオ電機、薄さ４．９ｍｍの紫外線薄型照度計「ＵＩＴ−θ３６５」を販売開始

世界最薄（※１）の紫外線薄型照度計「ＵＩＴ−θ３６５」の販売を開始
―薄さ４．９ｍｍのワイヤレスタイプで、狭い照射距離間の測定を可能に―



　ウシオ電機株式会社（本社：東京都、代表取締役社長　菅田　史朗、以下　ウシオ）は、世界で最も薄い４．９ｍｍの紫外線薄型照度計「ＵＩＴ−θ３６５」（ユーアイティー・シータ３６５）の販売を、２０１１年１２月７日より開始しますので、お知らせいたします。

　半導体・液晶、精密電子部品などの製造プロセスやＵＶ（紫外線）印刷の工程では、レジストやインクの硬化、精密部品やレンズの接着、光学フィルム（※２）のコーティングなどがＵＶで行なわれており、品質維持のための定期的なＵＶ照度管理が必要となっています。しかし、装置条件や照射環境によって、測定そのものが難しいケースが発生しており、特に光学フィルム製造や精密部品接着において、以下の課題が指摘されています。


■光学フィルムの場合
　需要の拡大に対応するため、生産性向上を目的にフィルム幅が長尺化しており、それにあわせてＵＶ照射面積も拡大している。それに伴って、従来の小さいフィルムサイズでは問題とならなかった、ＵＶ照射量のムラによる品質のバラツキや低下が発生するのを防ぐため、ＵＶ照度管理が必要とされている。しかし、製造装置の開口部（フィルム搬入部）に高さ制限があり、また光源部とフィルム間の照射距離が狭いため、照度計の厚みの問題から測定が困難。


■精密部品接着の場合
　極小面積での高密度接着を行なうため、光源部と照射対象物を近接させることで高いＵＶ照度を維持しており、定期的なＵＶ照度管理が必要。現在は、光源部と照射対象物との照射距離間が狭いため、照射距離間を広げて測定している。しかし、実際の照射条件（距離や角度など）と異なるため正確な測定ができない上、測定後には都度、照射条件をセッティングし直す手間が発生する。


　これらの課題に対しウシオは、主に半導体・液晶製造分野で培ってきたＵＶ測定技術を応用することで、世界最薄４．９ｍｍ、かつ煩雑な配線の取り回しが不要なワイヤレスタイプの紫外線照度計の開発に成功しました。これにより、高さ制限や照射距離間などの照射条件に因らず、実際の製造時と同一条件下での正確なＵＶ照度測定・管理が可能となり、さまざまなＵＶプロセスにおける品質向上を実現します。

　なお、本製品は、２０１１年１２月７日（水）〜９日（金）に幕張メッセで開催される「ＳＥＭＩＣＯＮ　Ｊａｐａｎ　２０１１（ブースＮｏ．５Ａ−６０６）」において、実機展示を行ないます。


※１　当社調べ
※２　フィルムにパターン化した凸凹をつけることで、材料そのものに「拡散・集光・反射または反射防止」などの機能（光学特性）を持たせたフィルムのこと。大型・薄型液晶モニタやタッチパネルなどのディスプレイにおいては輝度向上、光源本数の低減に伴う省エネ化・薄型化、ムラ防止など、太陽電池では集光率向上、ＬＥＤ照明では輝度向上といった機能がある。


※以下、「主な特長」「主な仕様」などは、添付の関連資料を参照


以上