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ウシオ電機、子会社エクストリームがウシオ製EUV光源が中間集光点出力30Wを達成

2011-11-01

ウシオ製EUV光源、中間集光点出力30Wを達成
― 国際会議で発表 ―



 ウシオ電機株式会社(本社:東京都、代表取締役社長:菅田 史朗、以下 ウシオ)の100%子会社であるエクストリームテクノロジーズ(XTREME technologies GmbH 本社:ドイツ・アーヘン、社長:マーク・コートアウトMarc Corthout、以下、エクストリーム)は、量産化対応に必須であるDuty Cycle(デューティサイクル)100%の条件下で、中間集光点出力30Wを達成したことを、リソグラフィー技術に関する国際会議「2011 International Symposia on Extreme Ultraviolet Lithography and Lithography Extensions」(2011年10月17日〜21日 米国フロリダ州マイアミ)で発表いたしましたので、お知らせします。

 13.5ナノメートルの非常に短い波長を持つEUV光源は、半導体リソグラフィーにおける最後の光源といわれ、22nm世代以降の半導体製造に必要とされています。ウシオは1990年代から、放電で生成するプラズマからEUV光を発光させるLDP(Laser assisted Discharge Plasma)方式によるEUV光源の開発を行なっており、2008年にはエクストリームを100%子会社化し、また2010年にはフィリップスEUVから事業買収を行なうなど、EUV光源の研究開発を積極的にすすめてまいりました。

 エクストリームは、2011年2月にDuty Cycle 100%で中間集光点出力15Wを達成しており、このたび、さらなる高出力化への取り組みの中で発生したデブリや熱処理などの問題を大幅に改善することで、30Wの安定的出力を達成しました。また、今後の高出力化に対しても、これらの問題についてすでに解決策を有しており、引き続き開発を進めています。
 「開発用光源では、すでに中間集光点で100W相当の出力を確認している。今回、出荷前の製品ベースの光源システムにおいて、連続発光で中間集光点での出力30Wを提供できる段階まで来た。100W、250Wの出力を高い信頼性で実現できるよう、エンジニアリング課題を一つひとつ解決しながら着実に開発を進めている。」と、技術担当副社長の吉岡正樹は語っています。

 ウシオは、今後もエクストリームを通じて、LDP方式によるEUV光源の量産化実現のため、開発を一層加速してまいります。

 〔LDP方式EUV光源外観〕

  *添付の関連資料を参照


■ウシオ電機株式会社(本社:東京都、東証6925)
 1964年設立。露光装置、シネマプロジェクタ、データプロジェクタなどに使用される各種放電ランプのほか、照明やOA機器用ハロゲンランプなど各種産業用光源を取り扱っています。また、自社製ランプを組み込んだFPD、電子部品製造用光学装置や、デジタルシネマプロジェクタに代表される映像装置なども製造販売し、数多くの製品が高いマーケットシェアを獲得しています。http://www.ushio.co.jp



*「参考資料」は添付の関連資料を参照

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