三井造船子会社、アクティブ型有機ＥＬパネル量産向け次世代イオン注入装置「Ｍａｇｉｃ−ｉ」を開発

アクティブ型有機ＥＬパネルの量産に向け

次世代イオン注入装置「Ｍａｇｉｃ−ｉ」を開発　初号機出荷


　※製品画像は関連資料を参照


　三井造船株式会社（社長：加藤　泰彦）の子会社であるエム・イー・エス・アフティ株式会社（ＭＥＳアフティ：社長　内田　省寿）では、アクティブ型有機ＥＬディスプレイ（Ａｃｔｉｖｅ−Ｍａｔｒｉｘ　Ｏｒｇａｎｉｃ　Ｌｉｇｈｔ−Ｅｍｉｔｔｉｎｇ　Ｄｉｏｄｅ；以下ＡＭＯＬＥＤ）の本格量産を見越して注入品質の向上と生産性の向上を両立させた次世代イオン注入装置「Ｍａｇｉｃ−ｉ」を開発し、このたび１号機を出荷しました。

　ＡＭＯＬＥＤは、高い輝度とコントラスト、優れた色再現性を特徴とする高性能ディスプレイであり、最近の量産技術確立により、携帯電話の高級機種やスマートフォンにおいて採用が進んでいます。
　また、高い画像品質に加えて液晶に比べて優れた応答性から３Ｄテレビの本流になるとも見られており、ディスプレイメーカ各社において、大型ガラス基板によるＡＭＯＬＥＤテレビ生産ラインの投資計画も進められています。

　ＭＥＳアフティでは、「Ｍａｇｉｃ−ｉ」の２号機以降についても、年末から来年初めに出荷を予定しています。
　更に量産投資で先行する韓国はもとより、台湾での既存液晶製造ラインのＡＭＯＬＥＤ製造ラインへの転換計画や中国での研究開発・試作ラインの整備に対応して「Ｍａｇｉｃ−ｉ」やアニール（熱処理）装置の商談を活発に進めています。


【今回出荷した次世代イオン注入装置「Ｍａｇｉｃ−ｉ」の概要】
・ガラス基板サイズ：　７３０×９２０ｍｍ（第４世代）
・概略装置サイズ　：　幅５ｍ×奥行８ｍ×高さ３．５ｍ
　　　　　　　　　　　　　（メンテナンススペース、カセットステーション・補機エリア除く）
・概算装置重量　　：　約２２トン（装置本体）
・出荷時期　　　　　：　２０１０年７月下旬
・用途　　　　　　　　：　携帯電話用ＯＬＥＤ製造

【エム・イー・エス・アフティ株式会社の概要】
　２００９年１２月に三井造船のフラット・パネル・ディスプレイ製造用イオン注入装置の事業部隊と半導体製造装置メーカである子会社、旧エム・イー・エス・アフティ株式会社を統合。２０１０年２月にフラット・パネル・ディスプレイ製造用熱処理・成膜装置メーカである子会社、株式会社ガソニックスも併せて統合。
　半導体およびフラット・パネル・ディスプレイ製造装置の開発から製造、販売、保守サービスまで一貫して事業を行う戦略子会社。

【取扱品目】
・フラット・パネル・ディスプレイ製造用イオン注入装置
・フラット・パネル・ディスプレイ製造用熱処理装置
・フラット・パネル・ディスプレイ製造用ＬＰ−ＣＶＤ成膜装置
・半導体製造用ＥＣＲプラズマ成膜装置
・フラット・パネル・ディスプレイ及び半導体成膜用ＡＬＤ成膜装置