ナノフォトン、３００mmウエハーステージ搭載ラマン顕微鏡RAMANdriveを発売

半導体ウエハーの応力イメージング評価に最適
３００mmウエハーステージ搭載ラマン顕微鏡RAMANdriveを新発売


　ナノフォトン株式会社（大阪府大阪市、代表取締役社長マイケル・ヴァースト）は、半導体分野向け新製品ウエハーアナライザーRAMANdriveをリリースいたします。２０１６年８月７日から１２日まで名古屋で開催されている第１８回結晶成長国際会議（ICCGE−１８）にて紹介をいたします。

　RAMANdriveは、当社独自のパワフルなラマンイメージング機能により、半導体材料中の応力や結晶多形、欠陥などの分布をサブミクロンの空間分解能で非破壊分析し、その分布を３次元で可視化することができます。独自開発の３００mmウエハーステージを搭載することで、最大３００mmの大型ウエハーをそのままステージに載せ、分析することが可能です。新搭載のステージナビゲーションシステムは、ユーザー所有の異物・欠陥検査装置で取得した座標データを読み込み、分析対象のパーティクルや欠陥の存在する座標へ、正確かつスムーズにステージを電動で動かします。

　当社代表取締役社長のマイケル・ヴァーストは、「半導体材料中の応力、結晶多形、不純物やキャリア濃度といった物性情報を評価し、３次元的に可視化できるラマンイメージングは、半導体分野でもっとも期待されている分析手法のひとつです。独自の３００mmウエハーステージを搭載したRAMANdriveは、新材料開発を加速し、歩留まりを改善するパワフルなツールになると確信しています。」と話しています。

　※参考画像は添付の関連資料を参照

＜RAMANdriveの特長＞

１．　ステージナビゲーションシステム
　ナノフォトンが開発したステージナビゲーションシステムは、ユーザー所有の異物・欠陥検査装置で取得した座標データを読み込み、ウエハー上に存在するパーティクルや欠陥の存在する座標へ、正確かつスムーズにステージを電動で動かします。サンプルの捜索に時間を割くことなく、分析業務に集中できます。

２．　１００nm以下の微小異物の同定
　RAMANdriveに搭載された高品質な暗視野観察機能により、１００nm以下の微小異物も明瞭に観察することができます。検出感度に優れた高分解能なラマン分光分析により、微小異物のラマンスペクトルを検出し、成分を同定することが可能です。

３．　残留応力の３Dラマンイメージング分析
　RAMANdriveは優れた共焦点（コンフォーカル）光学系を備えており、高性能な３次元ラマンイメージング分析を可能とします。半導体ウエハー中の応力や結晶多形の分布を、サブミクロンの空間分解能で明瞭に３次元で可視化することができます。

　製品パンフレット（英語）ダウンロード
　http://www.nanophoton.jp/download/160808_RAMANdrive_ENG.zip

＜ナノフォトン株式会社について＞
　２００３年、大阪大学工学部教授の河田聡が設立。河田研究室が持つナノテクノロジーやフォトニクスに関する世界最先端の研究成果を活用し、高性能のイメージング分析装置を開発しています。２００５年、高速で高分解能なラマン分光イメージングが可能なレーザーラマン顕微鏡を世界で初めて商品化し、以降も次々と新しいラマンイメージング装置を開発。分析機器業界で急速に拡大しているラマン分光分析市場において、イメージング装置のトップブランドとしての地位を確立しています。２０１５年９月、代表取締役社長として、グローバル分析機器業界で２５年のマネジメント経験を持つMichael　Verstを招へいし、ビジネスのグローバル展開を推進しています。

　ナノフォトン株式会社　http://www.nanophoton.jp