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東レ・ダウコーニング、150-mm SiCウエハ「プライム・スタンダード」など3種を発売
150-mm SiCウエハを発売
−100-mm SiCウエハ同様、グレード選択が可能に−
東レ・ダウコーニング株式会社(本社:東京都千代田区/代表取締役会長・CEO:桜井恵理子)は、150-mm(6インチ)のSiC(炭化ケイ素)ウエハ製品を3つのプライム・グレードに分けて発売しました。150-mm SiCウエハ基板も本年5月に発表した100-mm(4インチ)のSiCウエハ製品同様に「プライム・スタンダード」、「プライム・セレクト」、「プライム・ウルトラ」の3つのグレードで販売します。このグレード分けはマイクロパイプ密度(MPD)や貫通らせん転位(TSD)、基底面転位(BPD)のような、デバイス性能に影響を与える致命的なキラー欠陥の規格を明確化したものです。
「SiCパワー半導体は、ここ数年、開発・基礎研究ステージから、技術を確立してきました。SiCの結晶品質やウエハサイズなどにより生産性が重視されています。業界のニーズにお応えすべく、ダウコーニングは150-mmのSiCウエハにも3つのグレード分けを適用しました。ダウコーニングがウエハの生産規模を拡大することで、お客様が開発中の次世代デバイスに性能やコストの面で最適なSiCウエハをお選びいただけます。今回の150-mm SiCウエハにより、お客様の生産性向上に貢献します。」とダウコーニング化合物半導体ソリューションズ担当バイスプレジデントのタンヨン・アンは述べています。
SiCウエハメーカーの多くは、150-mm SiCウエハのMPDについて保証していますが、TSDやBPDといった他のキラー欠陥についても厳しい規格を明示するのはダウコーニングが初めてです。こうした欠陥はデバイスの歩留まりを悪化させるだけでなく、定格電流が大きい次世代の大面積パワーエレクトロニクス・デバイス製造において採算性の悪化につながります。
ダウコーニングが提供する3つのプライム・グレードSiCウエハは量産および試作工程でも優れた機械特性を持ちます。
今回新たに加わった3つの150-mm プライム・グレードSiCウエハ製品は以下の通りです。
・プライム・スタンダード
■1■のMPDを保証しているため、定格電流が低めのショットキー・ダイオードや接合障壁ショットキー・ダイオードのような、比較的単純なSiCパワーエレクトロニクス・コンポーネントを設計する際に適しており、性能とコストのバランスがとれた製品です。
※■の正式表記は添付の関連資料を参照
・プライム・セレクト
MPD(■1■)、TSD(■300■)と規格をより厳密にしているため、ピンダイオードやスイッチのような、要件が厳しいSiCデバイスに適しています。
・プライム・ウルトラ
最も高い結晶品質が求められるハイパワー・デバイスの設計を可能にします。このグレードのSiC基板はMPD(■1■)、TSD(■200■)、BPD(■3,000■)といずれも極めて低く、ウエハの抵抗分布も密になっているため、最も先進的なSiCパワーエレクトロニクス・デバイスの設計を可能にします。例えば、金属酸化膜半導体電界効果トランジスター(MOSFET)やジャンクション電界効果トランジスター(JFET)、IGBTやバイポーラ接合トランジスター(BJT)、ピンダイオードといった次世代スイッチング・デバイスなどです。さらに、このグレードは基板の品質が極めて優れているため、3.3kVを超える高圧や定格電流が大きいデバイスの設計でもそのメリットを発揮します。
「ダウコーニングはシリコンとワイドバンドギャップ半導体技術において、これまでお客様とイノベーションを実現しており、市場のニーズと動向を把握しています。ダウコーニングの技術力、専門知識とSiC結晶品質を活かし、ダウコーニングは急成長するパワーエレクトロニクス市場において世界中のお客様が成功できるように貢献していきます。」とダウコーニングCTO(最高技術責任者)のグレッグ・ザァンクは述べています。
「プライム・スタンダード」、「プライム・セレクト」、「プライム・ウルトラ」の各グレードの100-mmおよび150-mmSiCウエハは、製品開発とサンプリングにご利用いただけます。全世界のダウコーニングで展開しており、日本では東レ・ダウコーニングからからご購入いただけます。
<ダウコーニングについて>
ダウコーニング(http://www.dowcorning.com/)は、世界で2万5千以上の顧客の幅広いニーズに、最適最善の素材、応用技術、サービスのトータルソリューションを提案する、シリコーン、ケイ素関連技術とその革新のグローバル・リーディングカンパニーです。
現在、Dow Corning(R)、XIAMETER(R)の2つのブランドを通して、7千以上の製品およびサービスを提供しています。ダウコーニングは、1943年、The Dow Chemical CompanyとCorning Incorporatedの均等出資の会社としてスタートしました。現在売り上げの半分以上が米国以外の国からのものです。ダウコーニングの経営は、化学製品と工程の安全と安定経営の厳格な規則を示すAmerican Chemistry Council’s Responsible Care(R) initiativeに則っています。
<本件に関するお問い合わせ先>
●お客様からの問い合わせ先
東レ・ダウコーニング株式会社
営業6部
TEL:03−3287−8649
FAX:03−3287−8322