東京エレクトロン、次世代高生産性スクラバー洗浄装置「NS３００Z」を受注開始

次世代スクラバー洗浄装置「NS３００Z」受注開始のお知らせ


　東京エレクトロン株式会社（東京都港区、社長：東哲郎）は、２０１４年１０月より次世代高生産性スクラバー洗浄装置「NS３００Z」の受注を開始することをお知らせいたします。

　NS３００Zは、市場において実績がある従来機NS３００＋　HTに搭載しているプロセスモジュールの特長を継承し、さらなる高生産性を達成すべく開発されたスクラバー洗浄装置です。最大８スピンモジュールを搭載した本装置は、毎時最大１，０００枚（従来機比２００％）というスループットを達成するとともに、次世代デバイス向けとして生産性を低下させることなくプリ・ポスト搬送機能（＊１）を搭載することを実現しました。プリ・ポスト搬送機能により、洗浄工程における課題のひとつであるウェーハ移送時のコンタミネーションの防止が可能となります。
　また、２流体スプレー（AS２：Atomized　Spray２）およびブラシを従来機より改善することによって、最先端デバイス製造においても生産性の高い幅広いスクラバー洗浄プロセスを実現しています。

　＊１．プリ・ポスト搬送機能：洗浄前と洗浄後でウェーハのハンドリングを分ける機能

　※製品画像は添付の関連資料を参照