ウシオ電機子会社、ＤＰＰ方式ＥＵＶ光源が欧州研究機関に採用

ウシオ電機製ＥＵＶ光源、欧州研究機関に採用―

―新工場開所式で公表―


　ウシオ電機株式会社（本社：東京都、代表取締役社長：菅田　史朗、以下　ウシオ）の１００％子会社であるエクストリームテクノロジーズ（ＸＴＲＥＭＥ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ　ＧｍｂＨ　本社：ドイツ・アーヘン、社長：マーク・コートアウトＭａｒｃ　Ｃｏｒｔｈｏｕｔ、以下、エクストリーム）製のＤＰＰ方式（＊１）ＥＵＶ光源（＊２）を、このたび欧州の独立国際研究機関ＩＭＥＣ（＊３）（Ｉｎｔｅｒｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ　Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｃｅｎｔｒｅ：ベルギー）が採用することが公表されましたので、お知らせします。

　エクストリームは、２２ｎｍ世代以降の半導体製造に必要なＤＰＰ方式ＥＵＶ光源を量産するための新工場をオランダ国境近くのアールスドルフに完成させ、１２月１０日に開所式を行ないました。開所式席上で、ＩＭＥＣディレクター、クルト・ロンゼ氏より、２０１１年春にＩＭＥＣがエクストリーム製のＤＰＰ方式ＥＵＶ光源の導入を決定したことが公表されました。

　ＩＭＥＣには、デバイスをはじめ、マスク、レジストなど半導体製造に関わる多数の企業が参加しており、すでに今年７月にエクストリームが事業買収したフィリップスＥＵＶが製造したＤＰＰ方式ＥＵＶ光源（実験機用）を保有し、稼動させています。今後、エクストリーム製ＤＰＰ光源（量産試作機用）を使って、ＥＵＶによる半導体製造プロセスの検証が行なわれます。

　今回、ＩＭＥＣが採用を決定したＤＰＰ方式の量産試作機用ＥＵＶ光源は、既にエクストリームが受注した複数台の１台にあたります。ウシオはＥＵＶＡ＊４を通じ日本のＮＥＤＯ（＊５）、ドイツのＢＭＢＦ（＊６）からの研究委託や開発補助金を受け、１９９０年代からＥＵＶ光源の開発を行なってまいりました。ウシオは、今後ともエクストリームを通じて、ＥＵＶ光源量産のための開発を一層加速してまいります。

　◇エクストリームのアールスドルフ新工場
　　※添付の関連資料を参照

＊１　ＤＰＰ（Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ　Ｐｒｏｄｕｃｅｄ　Ｐｌａｓｍａ）方式
　放電で生成するプラズマからＥＵＶ光を発光させる光源。ＥＵＶ光源には、ＤＰＰ方式以外にレーザで生成するプラズマからＥＵＶ光を得るＬＰＰ方式（Ｌａｓｅｒ　Ｐｒｏｄｕｃｅｄ　Ｐｌａｓｍａ）があり、２方式の間で開発競争が行なわれている。

＊２　ＥＵＶ（Ｅｘｔｒｅｍｅ　Ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）光源
　現行の液浸二重露光用ＡｒＦエキシマレーザに続く、半導体リソグラフィーにおける最後の光源といわれ、１３．５ナノメートルの非常に短い波長を持つ。

＊３　ＩＭＥＣ（Ｉｎｔｅｒｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ　Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｃｅｎｔｒｅ）
　欧州の独立国際研究機関。１９８４年に設立。本部所在地はベルギーのルーベン市。
　http://www.imec.be/

＊４　ＥＵＶＡ（Ｅｘｔｒｅｍｅ　Ｕｌｔｒａ　Ｖｉｏｌｅｔ　Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ　Ｓｙｓｔｅｍ　Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ　Ａｓｓｏｃｉａｔｉｏｎ）
　極端紫外線露光システム技術開発機構
　２００２年６月、半導体微細加工を実現するため、極端紫外線（Ｅｘｔｒｅｍｅ　Ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ：ＥＵＶ）を用いた光源・露光装置技術の早期確立を産学官一体となって推進する目的で、技術研究組合法に基づき、設立。　http://www.euva.or.jp/index.html

＊５　ＮＥＤＯ　（Ｎｅｗ　Ｅｎｅｒｇｙ　ａｎｄ　Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ　Ｏｒｇａｎｉｚａｔｉｏｎ）
　２００３年１０月日本の産業技術とエネルギー・環境技術及びその普及を推進する日本最大規模の中核的な研究実施機関として設立。　http://www.nedo.go.jp/

＊６　ＢＭＢＦ（Ｆｅｄｅｒａｌ　Ｍｉｎｉｓｔｒｙ　ｏｆ　Ｅｄｕｃａｔｉｏｎ　ａｎｄ　Ｒｅｓｅａｒｃｈ）
　ドイツ教育・研究省　http://www.bmbf.de/en/


■参考資料
１）ウシオ電機のＥＵＶ開発の経緯
　２００１年　エクストリーム設立
　２００２年　ＥＵＶＡ発足、ウシオ参画
　２００５年　ウシオ、エクストリームの株式５０％を取得
　２００６年　フィリップスＥＵＶがα機を出荷
　２００７年　ウシオ／エクストリームがα機を出荷
　２００７年　ウシオとフィリップスが業務提携
　２００８年　エクストリームとフィリップスＥＵＶが共同研究を開始
　２００８年　エクストリーム／フィリップスＥＵＶが、発光点で５００Ｗの出力を実証
　２００８年　ウシオ、エクストリームを１００％子会社化
　２０１０年　ＥＵＶＡで発光点出力１ｋＷを実現
　２０１０年　フィリップスＥＵＶより事業買収

２）ウシオについて　
　１９６４年設立。露光装置用、シネマプロジェクタ用、データプロジェクタ用などの各種放電ランプのほか、各種照明用、ＯＡ用ハロゲンランプなどを取り扱っています。また、自社製ランプを組み込んだ各種光学装置なども製造販売し、数多くの製品が高いマーケットシェアを獲得しています。社員数は海外連結子会社含み約４７００名、連結売上高は１，１９０億円。（数字は２０１０年３月期、億円未満切捨て）　http://www.ushio.co.jp