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東陽テクニカ、米Agilent社のナノインデンター新機能「ExpressTest」を発売
100点の押し込み試験をわずか100秒で実現!
ヤング率・硬度の多点測定とマッピング機能を備えた
ナノインデンター新機能“ExpressTest”を発売開始
株式会社東陽テクニカ(本社:東京都中央区、社長:五味 勝)は2012年4月12日、米国Agilent Technologies社(以下Agilent社)のナノインデンターの新機能“Express Test”を発売いたします。
1測定点におけるヤング率と硬度の測定時間はおよそ1秒で可能となり、従来と比較して、測定時間を60分の1から300分の1まで短縮できます。
さらに測定試料のヤング率と硬度を2次元的に測定し、その分布を画像化することも可能となりました。
ナノインデンターは、主に半導体材料やセラミクス・複合材料・ポリマーなどの新素材の研究開発分野で使用されてきました。しかし、”Express Test”によって、生産分野での材料・デバイスの品質管理やプロセスモニタなど、早いフィードバックが求められる分野での利用も可能になりました。
【Express Testの利点】
従来のナノインデンターによるヤング率・硬度測定では、1点の測定時間に1〜5分を要します。
しかし“Express Test”を使用することで、同様の測定を僅か1秒で行えます。そのため、例えば100点の測定(押し込み試験)を行った場合でも、僅か100秒で100点のヤング率と硬度を測定でき、得られた100のデータを統計的に評価することで、測定値の信頼性を向上させられます。
高速かつ高精度なポジショニング・ステージが使用され、従来では数時間にも及んだヤング率・硬度の面内分布も数分で得られ、さらに画像化できます。
【Express Testのキーテクノロジー】
Agilent社では、長年に亘りナノインデンターの技術開発とその実証で確立された高速動作を実現できるハードウェアと、新しいアルゴリズムを取り入れたソフトウェアを融合し、Express Testを実現しました。
Express Testでは、ナノメートルの世界で急な加速と減速の動作が伴います。その動作に正確に追従できる高精度押し込みヘッドと、瞬時かつ正確に測定場所を移動できるナノ・ポジショニングステージが使用されています。
さらに、高精度押し込みヘッドとナノ・ポジショニングステージを並行して効率良く動作させる制御アルゴリズムを開発し、安定して高速動作させることに成功しました。また、測定されるデータから、瞬時にヤング率・硬度を算出するアルゴリズムを開発しました。
*以下、リリースの詳細は添付の関連資料を参照
※本リリースに記載された社名および製品名は各社の商標または登録商標です。